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掩膜版一般指光掩膜基版，是制作微細光掩膜圖形的理想感光性空白板，通過光刻制版工藝可以獲得所需光掩膜版。復達材料檢測機構(gòu)可提供掩膜版測試服務，為CMA資質(zhì)認證機構(gòu)，第三方材料實驗室，可將客戶提供的樣品進行各項成分分析、性能測試，接下來為您介紹掩膜版綜合性能檢測范圍及相關(guān)標準。

掩膜版檢測范圍

濺鍍掩模版、TFT-Array用掩模版、TFT-CF用掩模版、遮光膜光學掩模版、透明基板光學掩模版等。

掩膜版檢測項目

反射率檢測、光學密度檢測、直角度檢測、CD精度檢測、位置精度檢測、最小線寬檢測、外觀質(zhì)量檢測、表面平整度檢測、鉻膜厚度檢測、最小缺陷檢測等。

掩膜版檢測標準

1、SJ/T 11516-2015 薄膜晶體管(TFT)用掩模版規(guī)范

2、GB 50073-2001 凈化廠房設計規(guī)范

3、SJ/T 10861-1996 鉻版光密度的測試方法

4、GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則

5、GB/T 2828.1 2003計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃

6、SJT 10584-1994 微電子學光掩蔽技術(shù)術(shù)語

7、SJ/T 10857-1996鉻版及其測試方法

掩膜版檢測流程

1、溝通需求：了解待檢測項目，確定檢測范圍；

2、報價：根據(jù)檢測項目及檢測需求進行報價；

3、簽約：簽訂合同及保密協(xié)議，開始檢測；

4、完成檢測：檢測周期會根據(jù)樣品及其檢測項目/方法會有所變動，具體可咨詢檢測顧問；

5、出具檢測報告，進行后期服務；

以上是有關(guān)掩膜版檢測的相關(guān)內(nèi)容介紹，復達檢測將會為您提供完備的掩膜版檢測方案，更多檢測需求可咨詢實驗室工程師，為您一對一解答。